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坩埚的搬运
为了更好的保护坩埚的釉层,搬运坩埚时必须非常小心,要避免发生敲打、碰撞或跌落的现象,更不能把坩埚横放在地面上滚动运输。坩埚的釉层一旦受损,会导致坩埚在使用过程中容易发生氧化和老化现象。应该用垫了软垫的手推车(或者其他合适的搬运工具)小心的搬运坩埚。造成底部材料迅速被侵蚀,坩埚变成锥形,或由于坩埚底部受力不均而使坩埚开裂。
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坩埚的投料
一、坩埚放入炉内,等自身红透,先放一点小型的金属碎料在坩埚底,再放金属锭(金属锭下埚前必须放在炉沿边上烘烤),以免冷锭直接放进埚里,造成坩埚遇冷而炸裂。而且还必须保证这些材料在坩埚中受热时有足够的膨胀空间,否则坩埚容易被挤裂。
二、烘烤的金属锭必须慢慢的竖着放进埚里。如横着放进去,金属锭热膨胀容易把坩埚挤破。往坩埚中投料时必须非常小心,是用夹钳把锭料和较重的材料小心地放入坩埚中。千万不要用倾倒的方式加料,锭料的棱角有可能撞裂坩埚。
三、使用过程中,埚里的金属水太少时,也不要一次加料太多,这样容易使埚内金属水遇冷而凝固,之后温度再次升高时,金属热膨胀而撑破坩埚。
坩埚的使用注意事项:
1、坩埚可在1450度以下使用,分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今,世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明坩埚。他具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。如因某种原因生产中断,金属液体应倒入模具(zui好是小锭料模具)中形成锭料,方便下次使用。
2、石英质脆,易破,使用时要注意。
3、除HF外,普通稀无机酸可用作清洗液。国内常用拉制单晶硅用石英坩埚18英寸和20英寸也有厂家使用22及以上的坩埚。目前国内坩埚生产厂家生产的18和20英寸坩埚技术都比较成熟。其生产使用原料石英砂主要由美国进口。国内产的石英砂纯度都达不到其要求。依据质量管理的基本原则—过程方法,公司的质量管理体系分为四大过程:1。其原料里杂质在生产时高温熔制过程中产生黑点气泡等 对拉制单晶硅时其稳定性都有一定影响。
4、不能和HF接触,高温时,极易和苛性碱及碱金属的碳酸盐作用。