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石墨坩埚的养护方法:
对于寿命已经到了期限的,需要进行更换,对于没有到寿命期限的且暂时不用的,需要进行密封在塑料袋中,放入纸箱打包,并注明炉号、更换原因、日期等,妥善保管。对于那些部分发生损坏但是没有到更换期限的石墨坩埚可以更换也可以凑合用,进行密封保存的石墨坩埚再次使用时,建议大家使用在提纯的炉子上。所以,他能够在实际的应用中具有很多的功能,而且操作也是比较简单的,即使没有经验的人在使用的过程中也可以很快学会。在每次拆炉时,要清理氧化物,并把石墨件上的渗硅清理干净,一些保温盖等部件要擦拭干净,避免一些杂物污染原料,除了在使用中注意人身安全外,还需要注意这种物品要轻拿轻放,确保石墨坩埚的安全。
坩埚的使用注意事项:
1、坩埚可在1450度以下使用,分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。耐酸性:特殊材料的加入显著改善坩埚的品质,在耐酸化指标方面表现卓越,并大大地延长石墨坩埚的使用寿命。当今,世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明坩埚。他具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。
2、石英质脆,易破,使用时要注意。
3、除HF外,普通稀无机酸可用作清洗液。国内常用拉制单晶硅用石英坩埚18英寸和20英寸也有厂家使用22及以上的坩埚。目前国内坩埚生产厂家生产的18和20英寸坩埚技术都比较成熟。1、石墨坩埚高的密度使得坩埚具备了1好的导热性能,其导热效果明显优于其他进口坩埚。其生产使用原料石英砂主要由美国进口。国内产的石英砂纯度都达不到其要求。其原料里杂质在生产时高温熔制过程中产生黑点气泡等 对拉制单晶硅时其稳定性都有一定影响。
4、不能和HF接触,高温时,极易和苛性碱及碱金属的碳酸盐作用。