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影响碳化硅坩埚使用寿命的一些因素。
1、坩埚材质的化学成分和物理、化学特性对坩埚的使用寿命有很大的影响。
2、坩埚容量,感应炉坩埚的使用寿命随其容量的增大而下降。
3、坩埚的工作状况,连续冶炼和间歇冶炼对坩埚的使用寿命有很大的影响。
4、坩埚的制作工艺,制作坩埚的各个环节的操作质量对坩埚的使用寿命有着重要的影响

坩埚的原材料是二氧化硅。 就其纯度而言,大体分为两种,一种是以天然水晶为原料的石英砂,它的杂质总含量(指Al、Fe等13种杂质元素的总和)一般均在50ppm以下,另一种是用高纯合成原料经高温水解溶制而成的产品,它的纯度很高,13种杂质元素的总含量一般均不超过2ppm,但是它的价格昂贵,软化点低,不少坩埚厂家用这种高纯合成原料在坩埚内层烧结一层 lmm左右的透明层,从而既保证了坩埚内表面的纯度,又不致于使坩埚软化点过低。但多数硅酸盐材料(水泥、陶瓷、玻璃)是混合物,含一定量杂质SiO2。

在坩埚炉窑内气体运动的各种阻力中,起决定作用的是码坯时的坯垛阻力。码坯的操作质量,对坯垛阻力也有一定的影响。码坯时要求头对头、缝对缝、火道对直、火路畅通。这样,就能减小阻力,反之,阻力就要加大。冷空气侵入窑内后,不但降低了烟气温度,而且使窑冷却带的进气量减少,这必然减少烧成带参与燃烧的空气供应量,减慢了燃料燃烧速度和坯体烧成速度。箱式炉二是合理使用风闸风闸适当的多提高用,闸口的通风面积就会加大,对气流的阻力就小,排烟设备的抽力作用就能充分地发挥出来。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。
